THS是一款基于光學焦距檢測方法、結合兩個顯微光學系統(表面和底面),采用精密對焦指示器的非接觸式厚度測量系統。當觀察到準確的位置和圖像時，即可測量厚度，*大測量厚度為25mm。本機采用光學系統，操作簡單，可清楚顯示準確的對焦位置。
厚度測量：
測量步驟：
1.在工作臺未放置工件時，垂直移動上對焦系統，待兩個顯示器上都顯示對焦準確的符號后，將Z軸計數器歸零。
2.放上工件，移動下對焦系統，對工件底部對焦。
3.移動上對焦系統，對工件上表面對焦。上對焦系統移動的距離即為工件的厚度。
技術規格：
| 型號 |
測量行程 |
精度 |
| THS-10 |
X：100mm Y:100mm |
1um(0.1um 可選配) |